Siemens fait l’acquisition du français Canopus AI
Siemens acquiert Canopus AI pour intégrer la métrologie basée sur l’IA à la fabrication de semi-conducteurs.
www.sw.siemens.com
Siemens a annoncé l’acquisition de Canopus AI, une société française spécialisée dans les solutions de métrologie et d’inspection basées sur l’intelligence artificielle pour l’industrie des semi-conducteurs. La transaction vise à renforcer le portefeuille de logiciels EDA (Electronic Design Automation) de l’entreprise allemande dans le domaine de la fabrication avancée de puces.
Fondée en 2021 et implantée à Grenoble, Canopus AI développe des outils logiciels exploitant l’apprentissage automatique pour l’analyse de données de métrologie et d’inspection des wafers et des masques. Ses technologies permettent notamment de mesurer l’erreur de placement des motifs (edge placement error, EPE) afin d’améliorer les modèles de simulation utilisés dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs.
Cette acquisition intervient dans un contexte de complexification croissante des procédés de fabrication, liée à la réduction continue des dimensions des composants et à l’augmentation des volumes de production. Dans ces conditions, la multiplication des mesures et leur exploitation à grande échelle deviennent un enjeu central pour le contrôle des procédés et l’amélioration des rendements. Les solutions développées par Canopus AI s’inscrivent dans cette logique en associant métrologie, inspection et analyse algorithmique des données.
Proposer une chaîne numérique unifiée
L’intégration des technologies de Canopus AI doit compléter les outils existants de Siemens, en particulier ceux de la suite Calibre, dédiée à la lithographie computationnelle et à la simulation physique des procédés de fabrication. L’objectif est de relier plus étroitement les étapes de conception, de simulation et de fabrication au sein d’une chaîne numérique unifiée, couvrant la mesure, l’inspection et l’analyse des motifs imprimés sur les wafers.
Canopus AI propose notamment une interface web de visualisation et d’analyse de données issues de microscopes électroniques à balayage pour la mesure des dimensions critiques (CD-SEM), ainsi que des outils de revue de données de métrologie et d’inspection adaptés aux environnements de production en volume. L’approche développée par l’entreprise, qu’elle désigne sous le terme de « Metrospection », vise à rapprocher les flux de données issus de la métrologie conventionnelle et de l’inspection, en s’appuyant sur des modèles d’intelligence artificielle.
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